点光谱共焦丈量显微系统(压电)的光谱共焦?檎闪坑胫鞒上窆饴饭仓,不存在遮挡问题,且对焦检测光斑幼,能够对槽、孔、凹坑等区域精准丈量。
点光谱共焦丈量显微系统适合于丈量高度、平面度、段差、概括度、厚度等特色职能:显微镜高速自动对焦测利用,是一种可达次级微米级的非接触式位移量测系统
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