彩色共焦位移传感器亦适合于深孔/盲孔工件的量测利用,是一种可达次级微米级的非接触式位移量测系统,对于表表漫反射或镜反射之物体甚至通明材质皆可丈量其位移或厚度,基于出光与回传讯号蹊径同轴之特点。
点光谱共焦丈量显微系统适合于丈量高度、平面度、段差、概括度、厚度等特色职能:显微镜高速自动对焦测利用,是一种可达次级微米级的非接触式位移量测系统
光谱对焦测厚系统,双光谱相比单向丈量精度更高,不变量测各类材质,测头结构轻巧,易整合于各行业之自动化丈量利用
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