陪伴着半导体工业出产规模性集成电路设计的遍及化 ，产业链内对出产量的尺度和产品质量的需要猛增。在务必削减出产效能成本费的前提下 ，机械视觉技术充分阐扬着必不成少的功效。机械视觉系统由工业镜头、工业相机、视觉光源、图像处置系统等组成 ，其中视觉光源起着关键性的作用 ，市面上视觉光源有多种类型 ，半导体检测有多个项目 ，每个项目当选用的光源也不尽一样 ，本文就介绍视觉光源在半导体检测中的利用及选型。
1.选用同轴光源检测晶圆字符：由于晶圆会反光 ，同轴光源能够对反光平面成像均匀；同轴光源亮度高 ，能够兼容二维码、字符等多种特点鉴别；同轴光路垂直性好 ，对表表检测更具优势。
2.选用组合光源实现晶圆视觉对位：利用圆顶光源凸显定位特点点 ，使用同轴光源补光 ，充分解决阴影区 ，组合光源的均匀性好 ，结构架设方便。
3.使用高亮点光源实现芯片丈量：高亮度、高均匀性、高性价比 ，清澈出现芯片概括。
4.多角度环形光源实现电阻缺点分类：电阻幼 ，缺点地位不确定 ，使用多色能够清澈鉴别缺点地位 ，并且结构设计紧凑 ，易于装置。
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