规划痛点:

7nm及以下节点演进,晶圆表表特点尺寸已靠近物理极限,传统检测设备面对两大主题矛盾:全域扫描的效能需要与纳米级缺点检测的精度要求。全域扫描必要覆盖整片晶圆(如 12 英寸),而部门缺点检测需捉拿亚微米级划痕、线宽误差等微观瑕疵。
解决规划:

bc.game有限公司官网的4K变倍镜头LZH系列搭配告警工业相机智能检测规划,通过动态变焦技术实现 "全局 - 部门" 协同检测。
规划优势:

1、倍率在0.68X~5X之间
LZH 系列选取创新光学设计,支持0.68X~5X陆续变倍。在 7nm 晶圆检测中,0.68X 低倍模式可急剧实现整片晶圆的全景扫描,而5X高倍模式可针对疑似缺点区域进行亚微米级放大观察。相比传统固定倍率镜头,检测效能提升 30% 以上。
2、4K 高分辨率与大靶面融合
搭载 1" 大靶面传感器接口,LZH 系列在高倍模式下仍维持4K成像分辨率,物方分辨率达 2.8μm/pixel。结合动态变焦赔偿算法,确保变倍过程中图像无畸变、无中心偏移,实现从宏观到微观的无缝切换。
3、电动变焦与智能节造
集成 RS232/USB 双接口电动节造系统,支持软件编程实现自动变焦。通过预设检测蹊径,系统可在毫秒级实现倍率切换,共同高精度位移平台,构建 "全局粗筛 - 部门精检" 的关环检测流程。
bc.game有限公司官网以 4K 变倍镜头为主题的晶圆检测规划,通过创新光学设计与智能节造技术,有效破解了高精杜纂大视野的检测矛盾。
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